超高真空4探针表面电性能检测装置 UMP1000-4P

PDF 4-Nano-Probe System for SEM UMP1000-4P

特征

  • 每个探头可以如制动器一般控制XYZ轴。是半导体表面任意位置电气特性测量的理想选择。
  • 紧凑，重量轻，可以安装在市售的SEM上。
  • 即使在超高真空，超低温环境下也可操作。
  • 易于使用的用户界面。使用笔记本电脑可以轻松操作每个探头的XYZ运动。
  • 灵活处理定制项目，请随时与本公司联系。例如探针数量更改、扫描探头显微镜测量等等方案都可以灵活操作。

参数

XY轴移动量 脉冲控制 ±2.5mm
线性控制 小于1μm
Z轴移动量 脉冲控制 ±1.5mm
线性控制 小于1μm
样品尺寸 最大 10mm × 10mm、厚度不超过1mm
重量 大于1000g

构成

组成部件 数量 H/W/D (Approx.)
纳米探针台单元 1台 12 × 12 × 4
控制电源 1台 222 × 450 × 520
控制计算机 1台 A4大小或B5大小
Pt:Ir 探针 10根 -
配件工具 1套 -

※关于纳米级台的配置和规格，控制电源和控制软件在增加接触检测功能选项的情况下，请直接联系本公司 销售部门 。


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