SPM产品 > 超高真空聚焦离子束电子显微镜
超高真空聚焦离子束电子显微镜
超高真空FIB/SEM柱
UNISOKU与Orsay Physics(法国)进行技术合作，提供超高真空高空间分辨率的FIB/SEM柱。
特征
- 超高真空 (UHV-SEM、UHV-FIB)
- 高空间分辨率 (顶级模型 小于2.5 nm)
- 先进的用户界面的软件
- 金属沉积气源兼容
- 多样种类
- Canion31 FIB: 7 nm@1pA
- COBRA-FIB: 2.5 nm@1pA
- Mass filtered FIB: 5 nm@1pA
- ECLIPSE SEM: 10 nm@5pA
- ECLIPSE Plus SEM: 4 nm@1pA
超高真空FIB/SEM系统
UNISOKU作为超高真空SPM的制造商，通过使用超高真空、低温技术，从而提供了各种各样的超高真空FIB/SEM系统。
案例
- 低温FIB/SEM系统
- SPM复合型FIB/SEM系统
- 多探测FIB/SEM系统
- 双FIB/SEM系统
- 俄歇光谱，EDX系统