纳米/微米旋转台UMP1000R

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样品和探针在大气、真空和低温环境下可进行旋转运动和角度微调

Nano/Micro Rotation Stage UMP1000R

纳米/微型旋转台UMP1000 R系列是一个小型的旋转台,开发的目的是在大气和高真空中下响应需要微小旋转运动的应用及其位置检测。

特征

  • 紧凑的设计允许纳入各种扫描电子显微镜(SEM),聚焦离子束设备(FIB)等(详情请咨询)
  • 设置了可以检测旋转角度的选项。
  • 通过安装本司的XYZ 3轴纳米操纵器/探测器的Z载物台,可以支持XYZ + R(旋转)的4轴载物台。

应用

  • SEM、FIB、光学显微镜观察下的旋转运动及其角度检测。
  • 纳米/显微操作和探测组合XYZ运动和旋转运动。

产品线

旋转台
  • 台本体,控制器和控制软件(电脑可选)
  • 可以选择是否需要旋转角检测功能
  • UMP1000R:无角度检测功能,UMP1000RE:含有角度检测功能
UMP1000R无角度检测功能 Nano/Micro Rotation Stage UMP1000R Series
UMP1000RE 包含角度检测功能 Nano/Micro Rotation Stage UMP1000R Series
XYZ 3轴+(R)旋转台
  • 台本体,控制器和控制软件(电脑可选)
  • 可以选择是否需要旋转角检测功能
  • UMP1000UR:无角度检测功能,UMP1000URE:含有角度检测功能
UMP1000UR 无角度检测功能 Nano/Micro Rotation Stage UMP1000R Series
UMP-1000URE包含角度检测功能 Nano/Micro Rotation Stage UMP1000R Series

参数

型号 UMP1000R UMP1000RE UMP1000UR UMP1000URE
台样式 旋转台 XYZ + R (旋转) 4轴台
角度检测功能
本体(台)
最大移动量: XYZ、粗动 (脉冲) 模式 - - XY轴: >5 mm、Z轴: >3 mm※客户定制可以更改
最大移动量: XYZ、微动(DC) 模式 - - XYZ轴: >1 μm※客户定制(压电元件更改)可以更改
最大移动量: 旋转(脉冲) 模式 >360°
最小分辨率: XYZ、粗动 (脉冲) 模式 - - <150 nm※值可以更改根据客户定制(压电元件变更)
最小分辨率: XYZ、微动(DC) 模式 - - 设定可能分辨率: DC模式最大移动量/20000、可保证的分辨率: DC模式最大移动量/2000
最小分辨率: 旋转(脉冲) 模式 < 0.05°
选择速度 约30秒~120秒/转动一次 (可变)※随旋转部件的尺寸和形状而变化。
探测角度读数分辨率 - <0.25°※客户定制高分辨率可能 - <0.25°※客户定制高分辨率可能
旋转轴偏离中心程度 >100 μm (基部)
输入: 电压 ±150 V
输入: 取出线 2根 (双绞线)
输入: 连接器 D-sub终端使用
旋转台尺寸(mm) 旋转部分外径: 18 mm dia. 固定部分外径: 30 mm dia. 旋转部分外径:22 mm dia. 固定部分外径:22 mm dia. 旋转部分外径:17 mm dia. 固定部分外径:22 mm dia.
重量※不包括连接基板 < 100 g < 120 g < 180 g < 200 g
操作环境: 真空度 大气环境和
10-2~10-6 Pa
大气环境和
10-2~10-4 Pa
大气环境和
10-2~10-6 Pa
大气环境和
10-2~10-4 Pa
操作环境: 温度 4°C ~ 40°C
操作环境: 使用湿度范围 15% ~ 80% ※然而,由于操作环境的突然变化,它不能在露点凝结条件下使用。
控制器
输入电压 AC 100 VAC (50/60 Hz) ※根据订购要求,可以更改电压AC 110,115,120,220,240 V。
耗电量 小于100 VA
控制输出 ±150 V max.
输出端子 D-sub9 母连接器
入力端子 USB端子
尺寸 213(W) × 370(D) × 100(H) mm
重量 约 6 kg
操作环境: 使用温度范围 5°C ~ 40°C
操作环境: 使用湿度范围 15% ~ 80% ※然而,由于操作环境的突然变化,它不能在露点凝结条件下使用。
附件
标准控制软件CD-ROM Windows 7 / 10 (32 bit) 单用户支持 × 1套
专用连接电缆 (USB) 电脑/控制器间 (3 m) × 1根
专用连接电缆(一面Dsub15) 1.5 m × 1根
可选: 操作用笔记本电脑 要求规格(客户应付或单独销售)
OS (32 bit版) Windows 7 / 10
USB端口 超过1个
CD-ROM驱动器 需要
存储 至少512 MB ※然而,操作系统应该操作舒适快捷
HDD 必须至少有10 MB的可用空间

※规格,外观等如有变更,恕不另行通知,请事先谅解。


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