XYZ 3轴纳米操纵器/探测器UMP1000

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SEM,FIB,光学显微镜观察的理想的纳米/显微操作/探测

XYZ 3-Axis Nano Manipulator UMP1000

UMP 1000是能够在纳米级别操作XYZ三轴和旋转轴的操纵器/探测器。 通过与市售的SEM / FIB /光学显微镜组合,其可以用于各种应用,例如微/纳米级的操作/探测。 根据应用,可以将其结合到SEM等中,例如使用两个探针在微小范围内通电/切割的精细加工,使用4个探针的4端法电阻测量。

特征

  • 操作简单,粗动(几百nm操作精度)和微动(0.5 nm精度或更小)开关类型快速对准
  • 价格低
  • 可以与市售的SEM / FIB /光学显微镜组合
  • 广泛的操作环境,从大气到超高真空,从正常温度到极低温度
  • 支持多探测
  • 适用于各种各样的应用,如操作、半导体纳米器件的IV测量、电阻测量、EBIC测量等。

应用

  • 在诸如SEM / FIB /光学显微镜(探测)的观察下的纳米级别的探针位置的微调。
  • 在大气至超高真空下和在常温至低温环境下进行探测
  • 表面电性能的测量,例如纳米级的微操作、半导体纳米器件的IV测量、电阻测量、EBIC测量。

构成

本体1台
控制器1台
配件1套
Windows笔记本电脑1台

规格参数

本体
最大移th量 脉冲模式(粗动) XY轴: 5 mm、Z轴: 3 mm
DC (微动)模式 XYZ轴: 1 µm
最小移動量 (分解能) 脉冲模式(粗动) 小于200 nm (XYZ轴)
DC (微动)模式 小于0.5 nm (XYZ轴)
操作环境 温度 4 K ~ 310 K、焙烧温度:低于373 K
压力 大气压力左右和10-2Pa~10-8Pa(存在由于压电元件的放电而不能使用的真空区域)
连接电缆 (输出) 标准控制端子(Dsub-15)2 m 1套*超高真空/极低温响应(定制)2 m 1套
本体尺寸(包含突出部分) 本体部分 约25(H) × 约50(D) × 约20(W) mm (不包括探针部分)
本体重量 小于60 g 本体部分 本体部分 (不包括安装基座)
控制器
输入电压 100 VAC (50/60 Hz)
耗电量 小于100 VA
使用温度范围 5°C ~ 40°C
使用湿度范围 15% ~ 80%
输入输出 控制器端子 (Dsub-15)
尺寸 480(W) × 100(H) × 460(D) mm
重量 小于6 kg
附件
标准控制软件CD-ROM 1套
专用的连接电缆 (USB) Windows PC/控制器之间 3 m 1条
专用的连接电缆 控制器 5 m 1条 (通过连接器)
AC连接电缆 1.5 m 1条
Windows笔记本电脑 (可选、单独贩卖)
OS Windows 7 / 10
界面 使用USB
CD-ROM驱动器 1个
存储 大于512 MB
HDD 大于10 GB

※对于可安装的型号如SEM / FIB,请直接与本公司联系。


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